超微傳感:0.001μm級分辨率傳感器,精準(zhǔn)捕捉納米級表面形貌特征
精密運動:高剛性空氣軸承回轉(zhuǎn)系統(tǒng)(徑向跳動≤0.05μm),確保測量基準(zhǔn)穩(wěn)定性
抗擾采集:寬頻信號處理能力,實現(xiàn)純凈信號提取
智能隔振:多級隔振系統(tǒng),有效隔離環(huán)境微振動干擾

為滾動體表面振動及噪聲的問題提供分析依據(jù)
 
			超微傳感:0.001μm級分辨率傳感器,精準(zhǔn)捕捉納米級表面形貌特征
精密運動:高剛性空氣軸承回轉(zhuǎn)系統(tǒng)(徑向跳動≤0.05μm),確保測量基準(zhǔn)穩(wěn)定性
抗擾采集:寬頻信號處理能力,實現(xiàn)純凈信號提取
智能隔振:多級隔振系統(tǒng),有效隔離環(huán)境微振動干擾
| 項目 | 參數(shù)名稱 | FFT-CYA | 
| 諧波分析 | 分析波段 | 1-512upr | 
| 回轉(zhuǎn)軸系 | FFT max1 | 0.03μm | 
| FFT max2 | 0.02μm | |
| FFT max3 | 0.01μm | |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 6rpm | |
| 最大測量直徑 | 300mm | |
| 最大工件直徑 | 450mm | |
| 傳感器 | 傳感器量程范圍 | ±500μm | 
| 傳感器分辨率 | 最高0.001μm | |
| 水平臂 | 水平移動范圍 | 165mm | 
| 水平凸出量 | 25mm | |
| 圓周檢測器 | 圓周采樣點數(shù) | 16384 | 
| 圓周分度精度 | 2/10000 | |
| 隔振系統(tǒng) | 隔振方式 | 全頻帶隔振 | 
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