以精密導(dǎo)軌為測量基準(zhǔn),精度更高,應(yīng)用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標(biāo)中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項(xiàng)重要指標(biāo),殘值噪音決定了測量的基礎(chǔ)精度。
可輕松應(yīng)對斜面零件、圓弧面零件的測量。

極低的殘值噪音,實(shí)現(xiàn)納米級測量
 
			以精密導(dǎo)軌為測量基準(zhǔn),精度更高,應(yīng)用更加廣泛。
具有極低的殘值噪音,最新國標(biāo)中,殘值噪聲是粗糙度測量的一項(xiàng)重要指標(biāo),殘值噪音決定了測量的基礎(chǔ)精度。
可輕松應(yīng)對斜面零件、圓弧面零件的測量。
| 型號 | DR | |
| 粗糙度精度 | 量程 | ±620μm | 
| 分辨率 | 262144:1 | |
| 指示精度 | ≤±(5nm +2.5%) | |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤1nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
| 驅(qū)動速度 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 | 
| Y軸驅(qū)動方式 | 電動 | |

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